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Puplikationen in Fachjournalen

Advanced in-situ electron-beam lithography for deterministic nanophotonic device processing
Zitatschlüssel Kaganskiy2015
Autor A. Kaganskiy, M. Gschrey, A. Schlehahn, R. Schmidt, J.-H. Schulze, T. Heindel, A. Strittmatter, S. Rodt, and S. Reitzenstein
Seiten 073903
Jahr 2015
ISSN 1089-7623
DOI 10.1063/1.4926995
Journal Review of Scientific Instruments
Jahrgang 86
Nummer 7
Monat Jul
Verlag AIP Publishing
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