Das Exzimer Labor wurde nach den vornehmlich dort verwendeten Lasern benannt, den Exzimer Lasern. Es wird für die optische Charakterisierung von Breitbandhalbleitern verwendet.

Zurzeit steht ein XeCl Laser mit einer Wellenlänge von 308 nm zur Verfügung. Dieser besitzt bei einer Wiederholfrequenz von 100 Hz und einer Pulsdauer von 20 ns eine maximale durchschnittliche Ausgangsleistung von 16 W. Für Photolumineszenzmessungen (PL) kann der XeCl Laser entweder zum Pumpen eines Farbstofflasers oder direkt als Anregungsquelle verwendet werden. Durch die Verwendung verschiedener Farbstoffe steht für die Anregung ein Spektralbereich von 332 – 950 nm zur Verfügung. Je nach Wahl des Farbstoffes kann so z.B. GaN, ZnO oder InGaN resonant angeregt werden. Für die Photolumineszenz-Anregungsspektroskopie (PLE) kann der Wellenlängenbereich eines Farbstoffes zudem kontinuierlich durchgestimmt werden. Durch die gepulste Anregung ist zudem zeitaufgelöste PL im mikro- bis millisekunden Bereich möglich. Alternativ kann noch ein HeCd-Laser als weitere Anregungsquelle mit einer Wellenlänge von 325 nm bzw. 441 nm verwendet werden.

Für die Detektion wird ein 1 m additiver Doppelmonochromator, sowie ein 0,75 m einfach UVMonochromator verwendet, an welche je nach Spektralbereich eine GaAs-Photodiode, ein Bi-Alkali-Photmultiplier oder eine Multi-Channel-Plate (MCP) mit verschiedenen Kathodenmaterialien angeschlossen werden kann.

Für Tieftemperaturmessungen können Proben in einem Badkryostatendurch suprafluides Helium auf  1.8 K abgekühlt werden. Temperaturabhängige Messungen im Bereich von 4 – 300 K können zudem in einem Helium Durchflußkryostatendurchgeführt werden. Für magnetfeldabhängige Messungen steht ein Magnetkryostat zur Verfügung.