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TU Berlin

Inhalt des Dokuments

FP Versuch F8 Nullellipsometrie

Standort:
IFKP (Arbeitsgruppe Prof. Kneissl)
Inhalt:
Die Ellipsometrie ist ein Messverfahren der Polarisationspektroskopie zur Bestimmung der optischen Eigenschaften von Festkörpern. In dem Praktikumsversuch wird ein Nullellipsometer verwendet.
Es wird linear polarisiertes Licht auf die Probe eingestrahlt. Da sich das Reflexionsvermögen parallel (Rp) und senkrecht (Rs) zur Einfallsebene sowohl im Betrag als auch in der Phase unterscheidet, ist das reflektierte Licht im allgemeinen elliptisch polarisiert. Dieser Polarisationszustand wird mit Hilfe eines verstellbaren Kompensators und zweier Polarisatoren furch Auslöschung bestimmt.
Lernziele bzw. Methoden:
• Polarisationsspektroskopie
• dielektrische Funktion, optische Eigenschaften von Festkörpern
Literatur:
Ibach-Lüth Festkörperphysik, Springer-Verlag, Berlin-Heidelberg
Bauer, Richter Optical Characterization of Epitaxial Semiconductor Layers, Springer Verlag, Berlin Heidelberg
Azzam, Bashara Ellipsometry and Polarized Light, North-Holland Publishing Comp.

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