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TU Berlin

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Technologie nanophotonischer Bauelemente

Nanophotonische Strukturen können bei Oberflächenemittierenden Lasern dicke Bragg-Spiegel ersetzen. Gleichzeitig lässt sich das Modenprofil beeinflussen.
Lupe

Unser Ziel ist es, Fragestellungen der Festkörperphysik im Bauelement nachzugehen, und somit Innovationen direkt zur Anwendung zu bringen. Herausforderungen stellen die technologische Umsetzung sowie das tiefe Verständnis der jeweiligen Bauelemente. Oberflächen­emittierende Laser ermöglichen mit ihrer extrem kleinen Grundfläche einen sehr kompakten Aufbau, erlauben Herstellung von Arrays und sind integrierbar mit Silizium­technologie. Die Verwendung von nanophotonischen Metastrukturen eröffnet neue Möglichkeiten. Eine der zentralen Fragestellung ist in wie weit sich nanophotonische Bauelemente herstellen lassen, die auf kleinster Fläche höchste Datenmengen bei niedrigstem Energieverbrauch übertragen können. Die Hochfrequenzeigenschaften können sehr genau mit Mitteln der Kleinsignalanalyse ermittelt werden. Die Eignung für Datenübertragung kann letztendlich nur das Experiment beweisen, dessen Ergebnis sowohl von den Bauelementen, als auch dem Übertragungsmedium und dem Kodierungsverfahren abhängt.  

Experimentelle Techniken: Reinsträume der Klassen ISO 5 bis ISO 3, Trockenchemie (RIE, ICP, PECVD), Kontaktlithographie, Nasschemie, Metallisierung, Elektronen­­strahl­lithograpie, Elektronenmikroskopie, automatischer Messplatz für ganze Wafer mit tausenden Bauelementen und statistischer Auswertung, Hochfrequenz­charakterisierung, Kleinsignal (40 GHz), Großsignal (55 Gbps NRZ), ...

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